自研SiN陶瓷基板简介
·陶瓷特性:热导率、热膨胀系数等特性可完美匹配Si/SiC芯片
·陶瓷基板特性:良好的热传导性、耐高温性能和机械强度
·可供应即烧板/研磨板
·可选厚度0.32/0.25/0.38
·提供高热导率产品定制(热导率达到110W/(m.K),抗弯强度超过700Mpa)
·在大客户已验证通过
类别 | 项目 | 单位 | SiN80 | SiN90 | 垫片类 |
物理特性 | 密度 | g/cm3 | ≥3.20 | ≥3.20 | ≥3.20 |
表面粗糙度 | μm | 0.2~0.6 | 0.2~0.6 | 0.2~0.6 | |
吸水率 | % | 0 | 0 | 0 | |
抗弯强度 | MPa | ≥700 | ≥650 | ≥700 | |
电气特征 | 介电常数 | 1MHz | 7.8 | 7.8 | 7.8 |
击穿强度 | KV/mm | ≥15 | ≥15 | ≥15 | |
体积电阻率 | 20℃,Ω·cm | ≥10^14 | ≥10^14 | ≥10^14 | |
热特性 | 热导率 | 20℃, W/(m·K) | ≥80 | ≥90 | ≥30 |
热膨胀系数 | ppm/K | 2.6@40-400℃ | 2.6@40-400℃ | 2.6@40-400℃ | |
尺寸 | 外形尺寸公差 | mm | Length≤190 Width≤138 土1% | Length≤190 Width≤138 土1% | Length≤190 Width≤138 土1% |
厚度 | mm | 0.25-1.0 士10% | 0.25-1.0 士10% | 0.3士10% | |
翘曲度 | Length‰ | ≤3% | ≤3% | ≤3% |